华洋精机联手蔡司推出半导体测量设备 COSMA-M，支持纳米级精度

中国台湾地区半导体设备商华洋精机于本月5日对外公告，与蔡司（ZEISS）合作推出了一款名为COSMA-M的设备，该设备主要针对光罩（掩膜）、先进封装及晶圆领域的高精度测量需求。

该设备具备纳米级的测量精度，其稳定度达到3σ小于3nm，能够满足先进制程对高精度测量的严格要求，并且通过配套模块可以实现全自动化测量。

据悉，COSMA-M的应用范围涵盖DUV掩膜、先进封装、TGV、CPO等多个领域，目前已经获得部分潜在客户的送样验证测试。